东西6月20日报道,最近几天,国内CMP设备龙头华海清科上市其12英寸CMP设备打破国际巨头垄断,为SMIC,华虹,长江存储等国内晶圆厂商提供自主可控的CMP设备值得注意的是,华海清科第一台12英寸设备运抵国内代工龙头SMIC验证,公司在SMIC的陪同下成为CMP设备领域的国内龙头
在上市仪式上,华海清科董事长卢新春和国家02项目总工程师叶都称赞了SMIC对半导体设备国产化的支持而其产品先在SMIC通过验证,再进入国内外市场,最后发展成为国产的故事,并不是华海清科的唯一案例
国内半导体玩家如拓晶科技,新源威,北方华创,中威公司,上海新阳,上海硅业等所有的核心产品都首先通过了SMIC的验证,并成为国内细分领域的领导者
SMIC作为国内代工一哥,在面临使用国产新型半导体设备和材料的风险时,愿意培育国产半导体设备和材料企业亲自带出了一批国产半导体设备和材料IPO,推动了国产半导体供应链的成长
SMIC带来的十大半导体设备和材料IPO
首先,国内设备和材料难以核实,SMIC成为试金石。
对于中国半导体产业来说,上游的半导体设备和材料不仅是一个重要领域,也是国内半导体企业快速成长的轨道。
截至目前,上海硅业,中微公司,北方华创,新源威,拓晶科技,梅生上海,唐毅股份,华海清科等各子行业材料装备龙头相继上市,加速了半导体材料装备国产化进程。
当许多国内半导体材料和设备的新产品首次进入市场时,国内晶圆制造龙头SMIC往往是首选。
对于国内半导体设备和材料玩家来说,新产品要想进入市场,真正取代国际巨头的产品,不仅要在性能参数和性价比上获得优势,还要获得晶圆厂的信任,通过他们漫长而严格的验证。
半导体行业是资金密集型和技术密集型行业,最先进工艺晶圆厂的投资往往需要数十亿甚至数百亿美元,少数国际巨头基本占据主要市场份额。
中国蚀刻设备龙头众美公司的招股书中写道:半导体厂商对设备的严格要求,使得新进入者需要经过长时间的技术积累才能进入这一领域长期的R&D和验证也对行业进入者的资本实力提出了很高的要求
中微公司产品验证阶段
出于良品率,成本等核心竞争力的考虑,晶圆厂往往没有使用新企业产品的意愿。
有SMIC内部人士向SMIC提到,上游设备厂商肯定都希望得到知名厂商的背书,但这种验证对晶圆厂来说是有风险的,选择会更严格。
对于国内半导体设备制造商和材料制造商来说,SMIC是首选,也是他们验证的试金石。
但是,虽然验证的难度很大,但是设备材料产品一旦通过验证,真正进入生产线,就会进入下游客户的合格供应商名单,后续的采购需求也会相对稳定。
华清科,拓晶科技,鑫源微,中威公司,北方华创公司的新产品通过SMIC验证后,SMIC开始逐步打开国内甚至国外的晶圆厂市场,对国际领先产品起到了替代作用。
二,助力五大国产设备龙头,国产设备进入12寸生产线。
华清科,拓晶科技,鑫源微,中威公司,北方华创等国内设备龙头的成长,都离不开SMIC的支持。
具体来说,华海清科,拓晶科技,中威公司的第一批产品都通过了SMIC的验证,之后他们的产品逐渐进入国内其他晶圆厂,逐渐取代国外领先产品,北方华创的检定单位是SMIC,其12寸蚀刻机,清洗机,氧化炉等设备均由SMIC检定,SMIC首先验证了魏源的前晶圆清洗机。
1.中威公司:等离子蚀刻设备率先进入SMIC。
中美公司于2004年8月在上海张江投产,产品主要是半导体刻蚀设备据媒体报道,2007年,中微公司引进了生产65纳米至45纳米高端芯片的刻蚀设备,并率先在国内12英寸生产线上试用从时间上看,SMIC是国内唯一拥有12英寸晶圆生产线的企业,该产品的试生产验证很可能在SMIC进行
此后,这种合作一直持续中微公司等离子刻蚀设备Primo AD—RIE由SMIC组装,首次进入中国大陆客户生产线,用于32nm至28nm工艺
截至目前,我们的产品已成功进入国际领先的7nm生产线,成为国内半导体设备领导者之一。
2.北方华创:多个28nm产品通过SMIC验证。
北方华创于2017年2月由北京七星华创电子有限公司和北京北方微电子基础装备技术研究中心有限公司战略重组而成它是中国领先的半导体设备其半导体产品包括刻蚀,薄膜沉积,氧化,清洗,测量等领域,在中国被誉为应用材料
根据消息显示,北方华创承担了多项02专项装备项目,其验证单位为SMICSMIC承担了北方华创大部分专项的验证,帮助北方华创完成了氧化炉,蚀刻机,清洗机等半导体设备的90/55/40/28 nm工艺验证北方华创能有这么多产品进入28nm,SMIC的贡献不可磨灭
3.拓晶科技:SMIC已成为国内薄膜沉积设备的领导者。
拓景科技成立于2010年4月,总部位于辽宁省沈阳市它是中国唯一的集成电路化学气相沉积和亚大气压化学气相沉积设备制造商,也是中国领先的原子层沉积设备制造商
拓晶科技招股书显示,其产品已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片,19/17nm DRAM芯片和64/128层3D NAND闪存晶圆生产线,并开展了10nm及以下工艺产品的验证测试。
2011年,拓晶科技推出首款产品12英寸PECVD设备,SMIC是第一个客户2012年,拓晶科技推出了12英寸的PF—300T设备,带有多个反应室,并于2013年通过了SMIC生产线测试
2014年12月,拓晶科技PF—300T产品获得SMIC量产设备订单,2015年9月,PF—300T在SMIC生产线生产1万件,2017年12月,该设备在SMIC生产线上达到了100万片的里程碑。
从PF—300T通过测试,到100万片膜,再到上市,拓晶科技在SMIC的陪伴下,通过了十一五国家重大专项验收,成长为国内薄膜沉积设备的领跑者。
鑫源微电子成立于2002年12月,前身为沈阳鑫源先进半导体技术有限公司,总部位于沈阳其产品包括光刻工艺中的涂胶显影设备和单片湿法设备
其之前的清洗机产品也率先通过了SMIC的国际流程验证,并完成了首次销售这也帮助鑫源微完成了其单片湿法设备的技术验证和量产
5.华海清科:SMIC帮助国内应用12英寸CMP设备。
华清科成立于2013年4月,总部位于天津,是天津市人民政府与清华大学的合资企业是国内唯一能提供12英寸CMP设备的半导体设备企业
SMIC是华海清科的第一个客户华清科首台12英寸CMP设备Universal—300于2015年8月2日交付SMIC,并于2016年通过SMIC验收2017年,其Universal—300 Plus模型再次进入SMIC的验证同年完成验收,通过了氧化物和w的多项工艺验证
从SMIC开始,华海清科就开始了12英寸CMP设备的国内应用。
华清科的发展历程
第三,带出五大材料供应商,覆盖硅片,光刻胶等领域。
除了半导体设备,半导体材料类上市公司如安吉科技,江峰电子,上海新阳,景瑞,上海硅业等也是SMIC的重要成员。
1.上海硅产业:打破国际领先公司12英寸硅片垄断。
上海硅业成立于2015年12月,子公司上海新盛是国内首家12英寸半导体晶圆供应商,为国内晶圆制造企业提供自主可控的12英寸晶圆。
继12英寸硅片研发成功后,2018年上海新盛先后通过上海华力威和SMIC的验证,正式打破了此前由心悦化学,高盛,SK siltron等国际龙头把持的12英寸硅片垄断局面。
2.上海新洋:蚀刻清洗液等产品首次进入SMIC。
上海新阳成立于1999年7月拥有完全自主可控知识产权的电子电镀和电子清洗两大技术,可为下游厂商提供化工材料,配套设备,应用技术,现场服务的一体化解决方案
具体来说,上海新阳是SMIC的蚀刻清洗液供应商,其生产的大马士革硫酸铜,铜线干蚀刻清洗液,铝线干蚀刻清洗液等产品首次用于SMIC S1生产线。
3.安吉科技:SMIC帮助实现国产替代。
赛特科技成立于2006年2月,产品包括不同系列的化学机械抛光液和光刻胶去除剂等安吉科技向SMIC批量供应CMP浆料,SMIC也是安吉科技最大的客户
其招股书显示,2016年至2018年,安吉科技对SMIC的销售额占比分别为66.37%,66.23%和59.70%,其发展与SMIC密切相关。
在它的支持下,安吉科技在集成电路领域打破了国际领先企业对化学机械抛光液和部分功能性湿法电子化学品的垄断,实现了进口替代,成为行业主流供应商。
4.江峰电子:填补国内高纯溅射靶空白。
江电子成立于2005年,专业从事超高纯度金属材料和超大规模集成电路制造用溅射靶材其产品填补了中国半导体行业在该领域的空白,并获得了世界一流芯片厂商的认证
该公司是SMIC高纯溅射靶材的国际供应商,据说其靶材可用于7nm工艺。
5.景瑞有限公司:I线光刻胶刷涂线获得SMIC国际订单。
景瑞有限公司成立于2001年,专注于超净和高纯度的光刻胶等化学试剂2018年12月,景瑞股份宣布其I—line光刻胶率先获得SMIC订单此外,景瑞的产品还包括过氧化氢等其他超纯电子材料
目前,景瑞有限公司是国内主要的光刻胶供应商,正在推进KrF光刻胶的产业化和ArF光刻胶的研发。
四。SMIC新的12英寸工厂或支持更多的国产设备和材料
SMIC代工实力强,可以支持国内很多半导体材料和设备厂商的验证SMIC在中国大陆的第一家12英寸晶圆厂及其在制造技术上的不断突破,为上游半导体设备和企业的验证和开发提供了一个关键平台
日前,SMIC宣布在中国大陆建成第一座12英寸晶圆厂相比之下,上海华立威的12寸生产线是2010年1月建成的,相差5年
SMIC的工艺突破为北方华创等国内半导体设备和材料企业提供了中国大陆最先进的晶圆生产线平台,帮助这些企业缩小了与国际领先企业的差距。
从2006年到2011年,SMIC成功完成了90纳米,65纳米,55纳米,45纳米,40纳米等一系列工艺节点的升级和量产2011年SMIC能够量产45/40nm芯片后,中威公司和拓晶科技宣布该设备已于2011年和2012年进入SMIC验证
2015年,SMIC完成28nm量产,成为中国大陆首家量产28nm工艺的芯片厂商2017—2018年,华海清科,北方华创,鑫源威等半导体设备企业相继宣布各类12英寸半导体设备进入SMIC验证
2021年,SMIC宣布在上海,北京和深圳新建三座12英寸晶圆厂届时,SMIC可能会为更多的国内半导体设备和材料制造商提供支持
此外,SMIC并不是唯一为上游设备供应商和材料供应商提供支持的行业领导者在封装测试存储领域,长电科技,长江存储,长信存储等行业龙头也为科士通,知春科技等国内半导体设备和材料龙头提供了支持
正如国家02工程总工程师叶所说,没有你们的支持,中国集成电路产业的设备和材料就不会有今天的成就。
结论:新产品验证风险大,或者对国内玩家提出了更高的要求。
SMIC不仅为国内芯片企业提供自主可控的代工服务,还愿意承担一定的风险,为国内半导体设备和材料供应商提供验证平台,帮助国内企业的产品真正从实验室进入晶圆生产线,获得更多晶圆厂的信任。
在SMIC的带动下,国内半导体设备和材料在CMP,等离子刻蚀,清洗,大硅片等方面逐渐打破国际巨头的垄断,实现了产品的国产化但需要注意的是,SMIC等中国大陆晶圆厂仍在追赶行业龙头,会更加重视新材料,新设备验证带来的风险,这也会对国内半导体材料,设备企业提出更高的要求
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